一、電極材質(zhì)純度要求

金屬離子溶出限制?

超純水兼容性?：電極材質(zhì)需滿足ASTM E1-11標(biāo)準(zhǔn)，金屬離子溶出量<0.1ppb（如鈦Ta2O5涂層或鉑金電極）?；

表面粗糙度?：Ra≤0.2μm，減少微觀孔隙吸附雜質(zhì)?。

材質(zhì)選擇?

惰性金屬?：優(yōu)先選用316L不銹鋼（電解拋光）或哈氏合金C-276，避免銅、鋅等易溶出金屬?；

絕緣涂層?：聚四氟乙烯（PTFE）或氧化鋁陶瓷涂層，隔離電極與介質(zhì)直接接觸?。

二、避免電極污染的措施

結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)?

非接觸式測(cè)量?：采用電容耦合技術(shù)，電極與介質(zhì)間通過(guò)絕緣層（如藍(lán)寶石）隔離，避免物理接觸?；

自清潔功能?：集成超聲波振動(dòng)模塊（頻率40kHz），周期性清除電極表面吸附層?。

工藝控制?

潔凈裝配?：電極在Class 100無(wú)塵室中封裝，避免組裝污染?；

惰性氣體保護(hù)?：傳感器腔體充填高純氮?dú)猓兌取?9.999%），防止氧化?。

00:02 斷電斷水防風(fēng)險(xiǎn)

00:13 定位泄漏源

00:28 分級(jí)修復(fù)

三、驗(yàn)證與維護(hù)

定期校準(zhǔn)?：使用在線電阻率儀（如Mettler Toledo）監(jiān)測(cè)介質(zhì)純度變化，偏差>0.5MΩ?cm時(shí)觸發(fā)報(bào)警?；

電極壽命?：建議每12個(gè)月更換一次，或根據(jù)溶出檢測(cè)結(jié)果（ICP-MS分析）決定?。

通過(guò)上述措施，可確保電容式射頻導(dǎo)納物位計(jì)在超純水系統(tǒng)中長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，同時(shí)維持介質(zhì)的高純度要求?。